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关于干式真空泵的五种形式

2019/4/9    来源:    作者:佚名  阅读:次  【打印此页】

  关于干式真空泵的五种形式

  干式真空泵的应用规模广泛,其中和它的五种方式有一定的联系,不知道你们关于干式真空泵的五种方式了解多少,不了解也没关系,本文就为我们介绍这方面的知识。

  一、组合式(罗茨+爪)

  组合式(罗茨+爪)规划用罗茨来进步在较低压力下的抽气功率,用爪来进步在较高压力下的抽气功率。它的基本原理和气体通路同前面介绍的圆裂片式规划相同。也有些厂家将其最后一级改为星型规划,这样能够在旋转一圈中将气体分为五份,就像三圆裂片式规划能够将其分为三份。

  二、内部紧缩型螺杆式

  螺杆间容积的不断减小使得其内部产生紧缩。在很多工艺中,这种内部紧缩同多级泵相同,简单造成气体在泵体内的物理化学变化而产生固化或液化。


干式真空泵

  三、双圆裂片式

  双圆裂片式的多级规划使得气体通路相当杂乱,而且每一级都需求较大流量的氮气起到稀释和阻隔效果。一起,为了到达好的真空度,对各级的空隙有十分严厉的要求。当然,这种规划因为增加了内部的紧缩比而使得其耗电量相对较低。

  四、三叶圆裂片式

  三叶圆裂片式规划和上述方式规划的原理相同,只是在旋转一圈中将气体分为三份而不是像双圆裂片式分为两份。为了进一步下降耗电量,在传动部分有的厂家选用两个直流马达,但这也会导致扭矩减小,重新启动的能力—下降。

  五、外部紧缩型螺杆式

  在外部紧缩型螺杆式规划中,运用一对等距螺杆。这使得内部紧缩减小,一起使得气体通路简单。这样,气体在泵体内停留的时间也短。这种规划但在杂乱的半导体工艺中表现出的稳定性十分强。

  以上就是为大家介绍的全部内容,希望对大家有所帮助。如果您想要了解更多的知识,您可以浏览我们的网站,我们会为您提供更专业的信息。

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