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干式螺杆真空泵的结构组成

2019/5/8    来源:    作者:佚名  阅读:次  【打印此页】

  近年来干式真空泵市场需求量很大,真空获得产品已经出现更新换代的局面,大量的有油真空系统已经被无油清洁的真空系统所代替。

  干式螺杆真空泵由于其优越的性能,在国外目前已经成为微电子、半导体、制药、精密加工等行业首选真空获得设备。

  干式螺杆真空泵结构主要由螺杆转子、壳体、冷却循环和密封材料构成。传动轴连接主动转子,通过同步齿轮带动从动转子的旋转,在壳体上开有冷却水通道,用来冷却转子和排气口温度,同步齿轮及轴承用油润滑。轴承和壳体内部通过密封件来密封以达到无油的效果。干式螺杆真空泵同无油螺杆压缩机在密封和润滑上结构类似。一般真空泵的排气端用机械式密封件,进气侧通常用双唇形密封件。在传动方式上,目前通用的是直连电机,用连轴器与转子连接,极少数用皮带或者链传动。

  干式螺杆真空泵国内的研究还处在起始阶段,很多技术难题还没有解决。比如转子涂层防腐蚀技术,降低排气口的温度,增大转子面积利用率等问题仍然很棘手,当抽取一些活泼气体时,由于排气温度高,安全性也是需要设计中考虑的,用在需要控制音量的场合,如何降噪也要成为研究方向,但其优越的性能决定了它一定会在真空获得设备行业占主导地位,就像现在螺杆压缩机在行业内的统治地位一样。

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